Product

Smart Automation Leader - DrimSys

DrimFOUP

概要

可与半导体工厂内的生产FOUP统一地移动,
根据工厂内退回指示移动时, 收集和分析设备和Stocker的各种FOUP内环境数据的产品。

特征

  • 收集各Stocker的状态信息
  • 收集粒子, 振动, 位置, N2流量信息等

产品说明


 

主要业绩

  • 构建SK Hynix Recipe Backup System (进行中)