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DrimFOUP
概要
可与半导体工厂内的生产FOUP统一地移动,
根据工厂内退回指示移动时, 收集和分析设备和Stocker的各种FOUP内环境数据的产品。
特征
收集各Stocker的状态信息
收集粒子, 振动, 位置, N2流量信息等
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产品说明
主要业绩
构建SK Hynix Recipe Backup System (进行中)