Package 장비 전용 DrimBox를 적용하여 NonSECS장비를 온라인 자동화가 가능하도록 하는 시스템 구축

• System

  • Package NonSECS 장비 자동화 시스템

• Product

  • Package 전용 DrimBox

• Equipment

  • TSK
  • DISCO
  • DEK
  • ESEC
  • Alphasem
  • KnS
  • ESEC